Il sistema ha il seguente principio di funzionamento: - un flusso di azoto a due fasi entra nel separatore, all'interno di questo il gas è fatto sfiatare in atmosfera all'esterno del laboratorio. L'azoto liquido in assenza di gas, ad una temperatura di -196°C alimenta per gravità il pannello protettivo criogenico attraverso una linea di alimentazione triassiale.
L'azoto liquido è leggermente sottoraffreddato nella parte terminale inferiore della linea a causa del carico idrostatico del liquido . Appena entra contatto con il pannello criogenico (cryoshroud), a causa dell'assorbimento delle calorie, la densità dell'azoto cambia così l'azoto più leggero è veicolato sopra il livello del liquido nel separatore di fase. Il gas è sfiatato ed il liquido rientra in circolo.
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Liquid Nitrogen Circulation and Multi-Wafer Molecular
Beam Epitaxy