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SEMICONDUTTORI

VBC è leader mondiale per la fornitura di Sistemi di piping superisolati per l’industria dei semiconduttori.

VBC ha sviluppato il sistema di alimentazione a circuito chiuso (Closed Loop Delivery System) per il raffreddamento della copertura protettiva criogenia (Cryoshroud) nella Epitassia a Fascio Molecolare (MBE). Il sistema combinato TRIAX/Separatore di fase fornisce istantaneamente ai pannelli criogenici ed alle trappole per vapore, azoto liquido a bassa pressione privo di gas.

Per impieghi che richiedono portate più elevate offriamo la linea azoto liquido SEMIFLEX che offre i seguenti vantaggi:

veloce raffreddamento, ottima qualità del liquido, temperature stabili, ridotte coperture di protezione, tutto senza problemi di montaggio.

Closed loop delivery system

Un sistema di piping per azoto liquido a circuito chiuso è stato progettato specificatamente da VBC per Epitassia a Fascio Molecolare (MBE) ed è stato utilizzato con successo per diversi anni.

Il sistema a circuito chiuso consente l'ottenimento di superfici perfettamente umidificate all'interno dei pannelli protettivi criogenici, minimizzando la fuoriuscita di gas e mantenendo una costante temperatura dell'azoto liquido a bassa pressione. Il sistema è completamente automatizzato, sicuro ed affidabile.
I componenti principali del sistema sono: tubazione superisolata di collegamento dal serbatoio di stoccaggio esterno al separatore di fase liquido/vapore; rete di tubazioni di alimentazione e dispositivi di regolazione della pressione tra il separatore di fase ed uno o più cryoshrouds.



Il sistema ha il seguente principio di funzionamento: - un flusso di azoto a due fasi entra nel separatore, all'interno di questo il gas è fatto sfiatare in atmosfera all'esterno del laboratorio. L'azoto liquido in assenza di gas, ad una temperatura di -196°C alimenta per gravità il pannello protettivo criogenico attraverso una linea di alimentazione triassiale.

L'azoto liquido è leggermente sottoraffreddato nella parte terminale inferiore della linea a causa del carico idrostatico del liquido . Appena entra contatto con il pannello criogenico (cryoshroud), a causa dell'assorbimento delle calorie, la densità dell'azoto cambia così l'azoto più leggero è veicolato sopra il livello del liquido nel separatore di fase. Il gas è sfiatato ed il liquido rientra in circolo.

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Liquid Nitrogen Circulation and Multi-Wafer Molecular Beam Epitaxy

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