Das System funktioniert im Prinzip folgendermaßen:
ein Zweiphasengemisch von Flüssigstickstoff gelangt
in den Phasenseparator. Das Stickstoffgas wird dort
in die Atmosphäre außerhalb des Labors geleitet, so
dass reines, gasfreies LN2 bei -196°C im Separator
verbleibt. Diese Flüssigphase wird von der Schwerkraft
getrieben durch TRIAX-Leitungen zu den Kühlschildern
geführt.
Durch den hydrostatischen Druck am unteren Ende der
Leitung ist der Flüssigstickstoff leicht unterkühlt.
Wenn der Flüssigstickstoff in das Kühlschild gelangt
und Wärme aufnimmt, verringert sich seine Dichte und
der leichtere LN2 wird oberhalb des Flüssigkeitsspiegels
in den Phasenseparator zurückgeleitet. Der Gasanteil
wird abgeführt und die Flüssigphase wieder verwendet.
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mbe.pdf
Liquid Nitrogen Circulation and Multi-Wafer Molecular
Beam Epitaxy
